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Client: Röhm GmbH
Format: Whitepaper
Size: 5 MB
Language: Deutsch
Date: 24.06.2022
Konstruktion und Produktion von reinraumtauglichen Baugruppen
Whitepaper mit Praxistipps zur Herstellung von Bauteilen, die in Reinräumen eingesetzt werden
Ein Reinraum ist ein Raum im Raum. Er wird für Produktionsprozesse gebraucht, in denen Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich erzeugt werden bzw. wo mit Materialien in diesen Größenordnungen gearbeitet wird. Die Größe luftgetragener Teilchen (Stäube, Mikroben) und von einzelnen unerwünschten Gas- und Flüssigkeitsmolekülen (–> AMC*) liegt im gleichen Bereich, nämlich unterhalb von 5 µm. Sie würden solche Prozesse also stören, schlimmstenfalls die Produkte sogar zerstören.
*„Airborne molecular contamination“ (luftgetragene molekulare Schmutzteilchen); Einzelmoleküle fremder Gase und Flüssigkeiten in der Reinraumluft